22日，记者从中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获悉，该所旗下长春光华微电子设备工程中心有限公司（以下简称“光华微电子”）成功研制出国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台。

晶圆探针台是半导体行业重要的检测装备之一，用于晶圆加工之后、封装工艺之前的晶圆测试环节，负责晶圆的输送与定位，使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。在这个过程中，晶圆探针台可以将参数特性不符合要求的芯片记录下来，在进入后序工序前予以剔除，从而大幅度降低器件的制造成本。

晶圆探针检测过程技术难度极大。“检测过程要求，在0.3秒内，晶圆探针台的几千到几十万根探针分别精准地对应到一个个大小约为头发丝横截面四分之一的Pad盘上。”光华微电子董事长田兴志说。

由于探针台技术门槛较高，目前市场处于双强垄断态势，东京电子(TEL)和东京精密(TSK)两家日本公司占据了绝大部分市场份额。光华微电子于2015年正式立项开展12英寸全自动探针台产品研发，2019年起，先后在功率半导体器件、光电探测器、逻辑半导体器件的知名企业进行了样机测试。“测试结果表明，产品已经能够满足产线生产要求，已经具备替代国外进口设备用于晶圆探针检测的能力。”田兴志说。

他表示，光华微电子研制的APT121A型探针台，作为国内第一款商业化的12英寸全自动晶圆测试探针台，其性能指标已经达到或者接近国际水平。国产APT121A型探针台能够有效降低晶圆测试厂的采购及维护成本。随着市场推广和设备性能的不断改进和提升，必将对推动我国的半导体产业发展产生积极作用。